簡易檢索 / 檢索結果

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    光阻層鍍上銦薄膜之近場光學微影點加工模式分析
    • 自動化及控制研究所 /93/ 碩士
    • 研究生: 林朝榮 指導教授: 林榮慶
    • 本研究的目的在於探討光阻層上蒸鍍一層金屬層之近場光學微影點加工的技術,藉由光學模擬分析金屬層之特性,並且以定性分析來證明此技術能有效地縮小光阻層上得記號寬度與半高寬。 此技術是將一層薄薄(約…
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    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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